為了保證所制備的標準氣體量值的準確性和可比性，應經常進行量值比對。比對的形式有方法比對、實驗室之間的比對、比對等。

方法比對常見的是用重量法制備的標準氣體。為了防止稱量時的流失，通常采用氣相色譜法進行分析比對，以保證制備的標準氣體的不確定度在合理的范圍內。一般說來，重量法制備標準氣體的不確定度優于1%，如果用氣相色譜法分析，比對結果偏差優于2%，應逐級查找原因，以保證量值的準確性。實驗室之間的比對、比對應由牽頭實驗室與二、三個提名比對實驗室與二、三個提名比對實驗室擬定詳細的比對技術方案。

比對的技術方案應包括：

1、樣品的詳細描述；

2、運輸過程的注意事項；

3、比對實驗室在接收樣品時應采取的措施；

4、比對開始前應進行的檢驗，如壓力等；

5、比對分析時使用標準的條件；

6、比對結果的說明；

7、如何估處不確定度；

8、參加比對的每個標準對SI單的溯源性；

9、比對結果與牽頭實驗室溝通的時間表；

10、比對經費；

11、比對結果的報告格式。